Национальная Физическая Лаборатория (NPL), Великобритания, предпочла российскую разработку для электронной литографии.

Компания Interface Ltd. произвела поставку и установку программно-аппаратного комплекса NanoMaker в Национальную Физическую Лабораторию стандартизации (NPL) Великобритании. Программно-аппаратный комплекс NanoMaker предназначен для проектирования, подготовки данных, а также создания 2D и 3D структур методами электронной литографии на базе растровых электронных микроскопов. Установка была произведена на микроскопе Hitachi S-4000 SEM с целью преобразования существующего микроскопа в литографическую систему.

Выбор NPL определил тот факт, что по своим функциональным возможностям и удобству интерфейса NanoMaker превосходит имеющиеся зарубежные аналоги. Программно-аппаратный комплекс NanoMaker позволяет пользователю иметь интуитивно понятный графический интерфейс для создания и проектирования структур, осуществлять моделирование проявления резиста, учитывать коррекцию эффекта близости для плоских и трехмерных структур, рассчитывать компенсацию статических искажений отклоняющей системы, измерять и активно подавлять динамические ошибки отклоняющей системы пучка. NanoMaker позволяет также осуществлять дизайн и моделирование таких сложных структур как голограммы и киноформная оптика, а также работать с дозовыми кривыми резистов для трехмерных структур. В стандартные функции NanoMaker включены функции работы со столом, снятия изображения, возможности «врисовывания» в существующие структуры с высокой степенью точности. Предоставляется возможность работы со снятым изображением: осуществлять сглаживание изображения, просматривать поперечное сечение, наносить метки масштаба и надписи.

Графический редактор в качестве базовых элементов имеет как простые, так и сложные геометрические объекты. Один из новых базовых элементов редактора - зонная пластина. Есть возможность работать с текстом, пользоваться функцией задания текущего времени. Пользователю предоставляется возможность работы со справочной таблицей, содержащей информацию и рекомендации практически по всем известным материалам резиста и подложки.

Достоинством системы NanoMaker является возможность работать с изображениями, полученными в других форматах, например, .dfx, .csf, .gds, .tif, .bmp. Настоящая версия NanoMaker выпускается как 32-х разрядное приложение и предназначена для работы в среде Windows 9x, NT, 2000 и XP.

Разработка программно-аппаратного комплекса NanoMaker была осуществлена для широкого спектра микроскопов и в настоящее время внедрена и эксплуатируется на JEOL JSM-840, LEO 1560, BS-300, Philips SEM 525, Hitachi S-4000, на комплексах ZRM-12, ZRM-20, а также на ионных литографах с фокусированным пучком.

Программно-аппаратный комплекс NanoMaker позволяет на практике превращать растровые электронные микроскопы в полноценные литографы. Использование NanoMaker на промышленных литографических установках (например, ZBA20, ZBA21) существенно расширяет и улучшает их характеристики и дает возможность достичь предельного разрешения установки.

О компании Interface Ltd.(www.interface.ru) Компания Interface Ltd. создана в 1990 г. Interface Ltd. - российский разработчик программных средств на базе наукоемких технологий. Основные разработки лежат в области микро(нано) технологий, структурного анализа двумерных матриц данных, а также создании электронных систем в сфере e-commerce. Компания также успешно ведет проекты по автоматизации предприятий, осуществляет поставку на российский рынок программного обеспечения, организует курсы и семинары по IT тематике, содействует в подготовке к сертификации по стандартам ISO900x и CMM.

Дополнительная информация: т. (095)925-0049, www.interface.ru/eng , www.nanomaker.ru, e-mail:export@interface.ru

Национальная Физическая Лаборатория (NPL) (www.npl.co.uk), Великобритания. - Английская национальная научная лаборатория по стандартизации. NPL - международно признанный независимый центр высочайших исследований, разработок и передачи знаний в области метрологии и естественных наук. NPL создана более века назад и занимается разработкой и поддержанием государственных стандартов. Области науки: нанотехнология, биотехнология, стекловолоконная оптика, квантовая механика, материаловедение, исследования окружающей среды, акустика, аналитические измерения, электричество, математика, оптическое излучение, математические вычислительные методы, ионизирующая радиация и т.д.